LPCVD 低壓氣象沉積系統

• 型號 : LPCDHTF1200c
• 加熱區 : 12”dia x 48L
• 最高溫 : 1200C
• Heater : R-Type, 3Set T/C, lead wire and head 160A, 380V/60Hz/3ph
• 三區加熱, 電腦控制, 可自動控制溫度(升降溫、恆溫)及控制真空壓力與手臂進出
• 自動 PID 控制器
• 即時 LED 顯示螢幕當下實際溫度與製程參數
• 適用晶片 6~8" Wafer
• 可課製設定溫度設定程式，且可調整 PID 參數以達到最佳設定溫度點