MRF 高溫熱處理爐產品專區
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退火爐
各式大小與搭配
退火爐
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電弧爐
最高溫可達3700度
電弧爐
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晶體生長爐
可搭配練葫爐
晶體生長爐
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各式製程
MIM, CVD, CVI
各式製程
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熱壓爐
0.5 Ton ~100Ton
熱壓爐
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物理測試爐
最高溫 2300 度
物理測試爐
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工業用爐
最高溫 3000 度
工業用爐
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實驗用爐
可搭配高真空, 還原, 氧化, 惰性氣體和分壓等氣氛。或搭配快速退火套件等功能
實驗研發爐
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燒結爐
最高溫2300度,
最多可搭配5個腔體
燒結爐
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3000超高溫
熱處理爐
可連續基礎運作，
且使用石墨及鎢
3000超高溫
熱處理爐 -
客製化, 其他
可課製8台晶圓、
中子束爐、蒸爐、
晶體生長搖爐、
課製爐腔等
客製化, 其他