森積產品

• RTA 快速退火爐
  可提供快速溫度熱處理製成，升溫速率1~200度/秒
  

  RTA 快速退火爐

• MRF高溫熱處理爐
  高真空氣體3000度高溫爐
  

  MRF3000度高溫熱處理爐

• 高溫爐/烘箱 實驗爐產品專區
  工業爐生產設備
  實驗爐製程設備
  適用溫度：攝氏40~1700度
  

  高溫爐/實驗爐產品專區

• LED 專區
  LED產業晶片熱製程設備，適用合金退火氧化製程
  

  LED 專區

• 高溫爐 真空系統
  客製化高溫真空模組系統
  

  高溫爐/真空系統

• 奈米製成設備
  適用CVD製程（奈米線、奈米碳管）
  

  奈米製成設備

• 半導體設備專區
  CVD製程
  適用於2"~8"晶圓製程
  

  半導體設備專區

• 工業爐
  適用於大型工業量產
  

  工業爐

• LPCVD低壓氣象
  沉積系統
  CVD製程
  真空壓力控制
  適用於2"~8"晶圓製程
  

  LPCVD低壓氣象沉積系統

• 全自動垂直爐
  晶片傳送
  750C
  PLC搭配人機控制
  適用於6"~8"晶圓製程
  

  全自動垂直爐系統

• 高溫爐加熱/真空零組件
  供應高溫材料及真空組件耗材
  

  高溫爐加熱及真空零組件

• 產業製程應用
  客製化各產業熱處理製程模組
  

  產業製程應用

• 客製化
  接受客戶需求設計製造
  

  客製化

• 石英加工專區
  石英晶舟設計製作
  石英腔體
  

  石英加工專區

• 被動元件專區
  電子被動元件（電阻、電感、電容）熱處理製程
  

  被動元件專區

• Linton 長晶爐
  前Kayax長晶爐台灣總代理 長晶爐、滾圓機、切片機、脫膠機、排片清洗一體積等相關設備
  

  Linton 長晶爐 相關設備