LED 製程設備 ( 合金、退火製程 )( For 2~4" Wafer 溫度 150~1000C)
水平擴散爐 1200 系列
爐管尺寸: 6"~12"
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單管
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雙管
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三管
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四管
自動爐管 - 1200 A系列
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4 管自動
PLC介面 4管自動爐
Model : 1200A-4-03 -
3 管自動
Model : 1200A-3-01
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3 管自動
Model : 1200A-3-02
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2 管自動
Model : 1200A-2-03
手動爐管 - 1200 M系列
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6 管手動
Model : 1200M-6-02
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4 管手動
Model : 1200M-4-01
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2 管手動
Model : 1200M-2-01-V
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2 管手動
Model : 1200M-2-02
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2 管手動
Model : 1200M-2-03
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2 管手動
Model : 1200M-2-PC