Vertical Furnace System 全自動垂直爐

• 型號 : B12-55AT
• 適用晶片 : 6~8" Wafer
• 溫度 : 250℃~750℃
• Class 100層流台+晶舟預冷置放區
• 微氧分析儀(測量範圍:10E-20ppm to 30%)
• SiC手幣載具搭配晶片傳送機械手臂模組, 不鏽鋼無塵密封載台滑軌
• MFC流量計-20L N2 1
• 即時 LED 顯示螢幕當下實際溫度與製程參數
• PLC 人機介面(10”彩色觸控)
• 可客製設定溫度設定程式，且可調整 PID 參數以達到最佳設定溫度點